數控機床的加工中，由于外力、加工中產生的熱量等外部因素的影響，機床的幾何精度受到影響，在機床上加工的零件的幾何變形會導致幾何誤差。引起cnc加工機床幾何誤差的內部因素是指由機床自身因素引起的幾何誤差，如機床工作臺的水平度、機床導軌的水平度和直線度、機床工具和夾具的幾何精度等。外部因素主要指高精度cnc加工過程中受外部環境和熱變形影響而產生的幾何誤差。
高精度cnc加工位置誤差對加工精度的影響。位置誤差是指被cnc加工零件的實際表面、軸線或對稱面相對于其理想位置的相互位置的變化或偏離程度，如垂直度、位置度、對稱度等。cnc加工產生位置誤差的主要原因是機床零件加工過程中傳動產生的間隙和彈性變形引起的加工誤差，以及cnc加工過程中工具頭需要克服的摩擦力等因素引起的位置誤差。

從高精度cnc加工的長期數據分析和實際操作中可以看出cnc加工機床定位引起的加工精度誤差。機床的定位對數控機床的cnc加工精度有很大影響。從結構上看，數控機床的cnc加工誤差主要是由定位精度引起的，機床進給系統是影響定位精度的主要環節。